2015-08-19
org.kosen.entty.User@2d0982f3
장기현(jayz1226)
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비정질 실리콘을 결정화(SPC방법)시켜 폴리실리콘을 얻고 확인하는데 XRD 분석을 이용하려고 합니다.
결정성 확인을 위한 시료를 준비할때 일반적으로 글라스 기판위에 한다고 하는데 실리콘 기판위에 폴리실리콘 막을 준비하면 안되는지 답변 부탁드립니다.
(ex. Poly Si/SiO2/Si)
결정성 확인을 위한 시료를 준비할때 일반적으로 글라스 기판위에 한다고 하는데 실리콘 기판위에 폴리실리콘 막을 준비하면 안되는지 답변 부탁드립니다.
(ex. Poly Si/SiO2/Si)
- XRD
- poly silicon
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각 분야 한인연구자와 현업 전문가분들의 답변을 기다립니다.
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답변 4
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답변
전민구님의 답변
2015-08-20- 4
첨부파일
우선 시료가 thin film이라는 가정하에 말씀드리면, 윗분이 답변하신대로 기판에 영향을 받을 수 밖에 없습니다. 일반적으로 글라스 기판을 사용하는 이유는 XRD 분석시에 방해가 되는 다른 peak가 없기 때문입니다. 질문자께서 문의하신 대로 poly-Si/SiO2/Si 기판으로 할 경우에 SiO2/Si 기판의 XRD를 찍어보시고 기판의 Si peak가 안 보일 경우에는 결정성 확인에는 문제가 없습니다.
다른 방법으로는 poly-Si을 만드신 후 이를 분쇄하여 분말 XRD 찍으셔도 결정성은 보실 수 있습니다만, 기판에 의한 preferred orientation은 확인이 불가합니다. -
답변
김강형님의 답변
2015-08-20- 2
흥미있는 주제여서 저도 공부할겸 검색해 보았습니다.
같은 분석은 아니지만 실리콘질화물과 텅스텐 탄화물 기판 위에서 다결정 다이아몬드막을 분석했는데 결과적으로 기판의 종류에 따라 분석결과가 달라졌습니다.
즉, 기판의 영향을 받는다는 것이죠.
기판때문에 상대강도가 달라지는 것으로 보고되었습니다.
http://www.academia.edu/1905831/Effect_of_Substrate_Material_on_the_Deposition_of_Polycrystalline_Diamond_an_XRD_analysis
SiO2와 유리 기판은 평균 결정 사이즈와 사이즈 분포 사이에 강한 상관관계를 가진다고 합니다.
예를 들어 고온에서 Al 유기 결정화(AIC)에 의해 다결정 실리콘층을 기상 성장시킬 때 AIC seed layer 위에서 에피성장하게 된다고 합니다.
따라서 실험하실 때 기판을 같은 재질로 통일하셔야 분석결과의 신뢰성이 보장되는 것 같습니다.
http://www.researchgate.net/publication/248317270_Crystallographic_analysis_of_polysilicon_films_formed_on_foreign_substrates_by_aluminium_induced_crystallisation
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답변
신동협님의 답변
2015-08-23- 2
SPC 방법에 의한 실리콘 박막의 결정성은 XRD로도 가능하지만, Rama 분석법으로 가능합니다. XRD 분석에 제약이 있으시면 Raman scattering도 고려해보시면 좋을 것 같습니다. -
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이상호님의 답변
2015-09-20- 2
실리콘의 결정성을 보기위해서 실리콘 기판을 사용하면 결정 특성이 기판에서 나오는 것인지 박막에서 나오는 것인지 구별해야 하는 어려움이 예상됩니다. 비정질을 사용하면 (이것은 결정성이 없으므로) 결정 특성 peak가 없고, 즉, 기판에 의한 noise를 줄일 수 있습니다.