2015-11-14
org.kosen.entty.User@79cd3527
하홍수(keri448)
- 1
안녕하세요?
진공장비내에서 증착되고 있는 박막의 성분비를 비파괴적인 방법으로 실시간 알고자합니다.
물론 박막을 이루는 성분들은 이미 알고 있고 단지 박막 표면의 성분비를 실시간 알고자 하는 것입니다.
AAS(Atomic Absorption spectroscopy)를 알아보았으나 장비가 복잡하고 비싸며 다루기가 어렵습니다. 분해능이 떨어지더라도 이보다 쉽고 저렴한 분석이 가능한 장비나 기술이 있으면 추천 부탁드립니다.
진공장비내에서 증착되고 있는 박막의 성분비를 비파괴적인 방법으로 실시간 알고자합니다.
물론 박막을 이루는 성분들은 이미 알고 있고 단지 박막 표면의 성분비를 실시간 알고자 하는 것입니다.
AAS(Atomic Absorption spectroscopy)를 알아보았으나 장비가 복잡하고 비싸며 다루기가 어렵습니다. 분해능이 떨어지더라도 이보다 쉽고 저렴한 분석이 가능한 장비나 기술이 있으면 추천 부탁드립니다.
- 조성비 분석
- 박막
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각 분야 한인연구자와 현업 전문가분들의 답변을 기다립니다.
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답변 1
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답변
신동협님의 답변
2015-11-15- 2
XRF 장치를 이용하면 실시간으로 비파괴 방식으로 박막 등 다양한 시편의 성분을 알 수 있습니다.
Energy dispersive 보다 Wave dispersive 방식이 분해능이 더욱 뛰어난 것으로 알 고 있습니다.
도움이 되길 바랍니다.