2016-01-29
org.kosen.entty.User@4cde9dc
변성천(rg1000)
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FIB라는 장비가 SEM으로 관찰하면서 이온빔으로 밀링하는 장비로 알고 있습니다. 부도체 샘플을 작업하기 위해서는 금속코팅을 해야 하는데, 이 경우 밀링작업으로 금속코팅부분이 제거되고 부도체 샘플 부분이 노출되면 충전현상(Charging)에 의한 이미지 왜곡이 안 되는지 궁금합니다. 어떤 분의 이야기로는 SEM의 가속전압을 4KV이하 설정하면 가능하다고 하는데, 잘 되는지 궁금합니다. 제가 아는 지식으로는 SEM에서 일차전자와 이차전자가 같아지는 가속전압을 찾는 다는 것도 쉽지 않을 것 같습니다.
- FIB
- SEM
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각 분야 한인연구자와 현업 전문가분들의 답변을 기다립니다.
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답변 1
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답변
신동협님의 답변
2016-02-01- 2
안녕하세요,
SEM 측정시 부도체 (예를 들어 유리) 주변에 전도성을 띄는 물질로 둘러싸여 있다면, 말씀하신 것처럼 저가속전압(<5kV)에서도 문제없이 이미지를 볼 수 있습니다.
예전에 유리 기판 위에 박막 물질 두께 측정 시 카본 페이스트를 유리 주변에 잘 도포하면 유리의 이미지도 charging 없이 잘 관찰되었습니다. 참고가 되었길 바랍니다.
감사합니다.