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지식나눔

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다공성 탄소 박막의 기공크기 측정 문의

2016-02-23 org.kosen.entty.User@519f04f3 최재학(cjh6887)
  • 2
실리콘 웨이퍼 위에 약 100nm 정도 두께의 다공성 탄소 박막을 제조하였는데,
Pore size 측정을 어떻게 하면 좋을 지 조언 부탁드립니다.
Pore size는 수 nm ~ 수 um 정도로 매우 broad합니다.
BET는 탄소 박막의 양이 매우 적어 측정이 어렵습니다.
  • 탄소박막
  • 기공크기
  • 측정
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답변 2
  • 답변

    DELETED님의 답변

    2016-02-24
    • 4
    AFM (Atomic Force Microscopy)를 이용하는 것이 좋을 듯 합니다. 
    탄소 박막의 두께가 100 nm 이고, pore 크기가 수 nm~um 범위라면, SEM으로 보기는 힘들 듯 합니다.
    AFM을 이용하면 pore의 3차원 형상, 크기에 따른 분포통계를 얻을 수 있습니다.
     
    도움 되었기를 바랍니다.
    답변수정
    AFM (Atomic Force Microscopy)를 이용하는 것이 좋을 듯 합니다. 
    탄소 박막의 두께가 100 nm 이고, pore 크기가 수 nm~um 범위라면, SEM으로 보기는 힘들 듯 합니다.
    AFM을 이용하면 pore의 3차원 형상, 크기에 따른 분포통계를 얻을 수 있습니다.
     
    도움 되었기를 바랍니다.
    등록된 댓글이 없습니다.
  • 답변

    오현철님의 답변

    2016-03-23
    • 3
    양이 적거나 기공이 얼마 안될때, 질소 대신에 Xe 또는 Kr을 사용하시면 상대적으로 안정적인 값을 얻을수 있습니다.
    답변수정
    양이 적거나 기공이 얼마 안될때, 질소 대신에 Xe 또는 Kr을 사용하시면 상대적으로 안정적인 값을 얻을수 있습니다.
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