2018-09-21
org.kosen.entty.User@1b569a26
변성천(rg1000)
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실리코 기판위에 도포된 그래핀을 주사전자현미경으로 분석하고 있습니다.
1kV 가속전압에서 분석해 보면 그래핀 두께에 따라 명암이 차이가 나서
두께를 짐작할 수 있습니다.
그런데, 이렇게 분석하다보면 하이드로 카본에 의한 오염이 많이 발생해서 명암 구별이
어렵습니다.
거의 같은 방법으로 시료를 만들었는데, 어떤 경우에 하이드로 카본이 많이 쌓이는지 궁금합니다.
그리고 플라즈마 클리너의 원리도 알고싶습니다.
1kV 가속전압에서 분석해 보면 그래핀 두께에 따라 명암이 차이가 나서
두께를 짐작할 수 있습니다.
그런데, 이렇게 분석하다보면 하이드로 카본에 의한 오염이 많이 발생해서 명암 구별이
어렵습니다.
거의 같은 방법으로 시료를 만들었는데, 어떤 경우에 하이드로 카본이 많이 쌓이는지 궁금합니다.
그리고 플라즈마 클리너의 원리도 알고싶습니다.
- 주사전자현미경
- 그래핀
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각 분야 한인연구자와 현업 전문가분들의 답변을 기다립니다.
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답변 2
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답변
조수호님의 답변
2018-09-23- 1
저진공 챔버 내부에 Ar, H₂, O₂등의 가스를 표면재질에 따라 단독 또는 혼합하여 투입하면서 전기적 에너지를 가하면 가속된 전자의 충돌에 의하여 투입된 가스가 플라즈마 상태로 활성화 됩니다. 이러한 플라즈마 상태에서 발생하는 가스의 라디칼이 피처리 재료 표면에 충돌하여 미세 유막 제거와 표면의 물리 화학적인 변화를 유도하여 접착 밀착력 향상, 플라스틱 사출 도장의 불량 방지, 각종 코팅 밀착력을 증대 시키는 역할을 합니다.
내용출처 : 제 4기한국 홈페이지 참조 -
답변
안강우님의 답변
2018-09-27- 1
Hydrocarbon contamination of the specimen remains a problem for scanning electron microscopy, especially for lowvoltage,high-resolution operation. (출처 :https://onlinelibrary.wiley.com/doi/pdf/10.1002/sca.1996.4950180402)
위 말 처럼 TEM 작동시 저전압, 고해상도 모드일때 특히나 hydrocarbon 문제가 발생한다고합니다.
보통 h2의 경우 진공을 만들더라도 여전히 남아 있게되어 문제가 발생하는데 이런 문제를 해결하기 위한 방법으로 초고진공을 만드는 방법을 사용한다고 합니다.
위 출처 논문을 보시면 3가지 방법으로 고진공을 만드는 방법을 소개하고 있습니다.
도움되시길 바랍니다.
감사합니다.