2018-10-29
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김동욱(caligna)
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ITO Glass에다 aluminum nitrate nonahydrate precursor (water base)용액을가지고 스핀코팅해서 350c에서 어닐링했습니다
이론대로라면 절연층 형성하고 전류가 흐르지 않아야하는데
캐패시터를 만들면 자꾸 전류가 그냥 흘러버립니다
어디가 문제인지를 모르겠군요.....
이론대로라면 절연층 형성하고 전류가 흐르지 않아야하는데
캐패시터를 만들면 자꾸 전류가 그냥 흘러버립니다
어디가 문제인지를 모르겠군요.....
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답변 5
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답변
김아영님의 답변
2018-11-14- 2
스핀코팅 건디션이 어느정도 두께를갖도록 하는 조건이신가요? 다른분들이 말씀하신대로 두께의 문제일수도 있지만 언일링중에 어그리게이션이 일어나서 막 형태가 아닌 아일랜드 형태로 뭉쳐서 그럴수도 있을거같습니다.
산화막을 만드시는게 목적이시면 ALD나 스퍼터같은 직접 증착하는 방법은 어떠신가요? -
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정연학님의 답변
2018-10-29- 1
게이트 절연막을 용액공정으로 제작하기 위해선 누설전류를 방지하기 위한
충분한 두께 확보가 필요하다. 이를 위해서는 멀티코팅이 필수적이다.
Al2O3 게이트 절연막을 스핀코팅을 3 ~ 5회 정도로 어느 정도 뚜께를 확보해 보시길...
뚜께에 따라 전기적 특성을 비교하여 멀티코팅 최적화를 찾으면 좋을 것 같습니다.
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신동협님의 답변
2018-10-30- 1
SEM 이미지를 찍어보시고 박막이 잘 형성되어 있는지 확인해보시는 것도 중요할 것 같습니다.
박막이 너무 얇다면 TEM 분석을 하시거나 XPS를 찍어서 ITO 관련 peak이 나온다면 이 역시 균일한 코팅에 문제가 있다고 생각하시면 됩니다.
위에서 추천하신 방법으로 여러 번 코팅을 하시거나, 스핀코팅의 조건 즉 회전 스핀속도, 시간 등을 조절하시는 것이 필요할 것 같습니다. -
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김병관님의 답변
2018-11-07- 1
Al2O3 precursor 수용액이라서 그런 것 같습니다. ITO glass가 적당히 소수성이라 물이 스핀코팅하면 다 튕겨져 나갈 것 같은데 O2 plasma 처리도 하고 rpm을 아주 낮추거나 서서히 acceleration 되도록 설정해야합니다. 또한 수용액에 알코올류라도 넣은 ref를 참고하시고 스핀코팅하시거나 수용액의 surface tension을 낮춰주는 detergent (~계면활성제)를 소량 넣어서 코팅하시면 휠씬 잘 될 겁니다. 윗분 말씀처럼 SEM으로 확인하면 듬성듬성 코팅 되어있을 가능성이 아주 높아보입니다. -
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안강우님의 답변
2018-12-18- 0
Al2O3 스핀코팅후 dry 한다음 AFM이나 SEM으로 필름의 상태를 한번 보셔야 할듯 싶습니다.
공정컨디션이 제대로 안잡혀서 불균일할 가능성이 높아 보입니다.
어닐링 온도는 높지 않긴한데 아마도 막을 형성하는 Al2O3의 농도가 적어서 두께가 일정하지 않을까 싶습니다.