2019-01-24
org.kosen.entty.User@773edca8
허수호(near2008)
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반도체 원자층 식각 과정 , 즉 ALE에 대해 공부하다가 이런 ALE 과정을 시행하는 장비를 알게 되었습니다. ICP Etcher System 이라는 장비로 풀네임은, Inductive coupled plasma etcher system 인데요. 기기 관련 사진만 있고 사용법, 구동원리를 알 수가 없어서 질문드립니다.
혹시 이 장비를 사용해보셨거나 잘 아시는 분이 계시다면,
작동 원리, 과정 등을 설명해주실 수 있으신가요!
가능하다면, 각 장치별 이름과 사용법도 포함해주시면 정말 감사하겠습니다.
혹시 이 장비를 사용해보셨거나 잘 아시는 분이 계시다면,
작동 원리, 과정 등을 설명해주실 수 있으신가요!
가능하다면, 각 장치별 이름과 사용법도 포함해주시면 정말 감사하겠습니다.
- 반도체
- 에칭
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각 분야 한인연구자와 현업 전문가분들의 답변을 기다립니다.
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답변 1
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답변
정연학님의 답변
2019-01-25- 2
국내외 반도체 장비회사가 많이 있기때문에 요청하시면 될듯 합니다.증착 장비는 어플라이드머티리얼즈(미국)·도쿄일렉트론(일본)에서, 식각 장비는 램리서치(미국)·ASML에 의존하고 있음. 물론 중소, 중견 기업들도 많이 있음.