2019-10-24
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김동욱(caligna)
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sem sampling할때 비전도물질이면 charging막기위해
금속코팅 얇게 하는데요
charging 막을거면 전도도가장높은 Ag쓰는게 더 좋은거아닌가요
더싸기도하고
또 au보다 pt더 선호하시던데
이유가 무엇인가요
- sem
- sputter
- sampling
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각 분야 한인연구자와 현업 전문가분들의 답변을 기다립니다.
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답변 5
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답변
김병관님의 답변
2019-10-29- 2
관련 자료 링크 남겨드립니다.
비전도성 SEM 시료를 전도성으로 만들기 위한 코팅 재료는 보통 전도성층을 얇고 균일하게 깔아주기위해 Pt, Au 등 고전도성 금속을 sputter해서 사용합니다. 범용 코팅 재료와 같은 것은 없으며 대상 재료는 샘플 재료와 원하는 결과에 따라 다를 수 있습니다.
Sputter 했을 때의 입자 크기가 작을수록 곱게 코팅되어 적은 양을 짧은 시간동안 균일하게 코팅할 수 있기 때문에, grain size가 작은 Pt를 보통 사용합니다 (Gold, silver: 5-10nm, Palladium: 5-10nm, Gold/Palladium: 4-8nm, Platinum: 2-3nm).
하지만 EDS까지 측정할 때나 다른 목적에 의해 특정 금속을 관찰하려면 코팅하는 금속과는 다른 금속을 선택해야겠죠.
https://www.microtonano.com/TIN-Target-material-selection-for-coating-SEM-samples-using-an-SEM-sputter-coater.php -
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윤영목님의 답변
2019-10-30- 2
SEM 샘플링시 Au, Pt를 코팅하는 이유는 말씀하신데로 전도성 물질 코팅을 통한 Charging 현상을 줄이기 위함입니다
Pt가 Au에 비하여 입계작은건 사실이나 두 소재모두 10만배 이상 고배율 관찰시에는 Morphology에 영향을 줄수가 있습니다
이런 문제를 해결하기 위해 사용되는 코팅소재가 Os입니다
Os는 Au, Pt 보다 표면형상에 영향을 덜 주어 이미지 관찰하기에는 유리하나
소재의 특성상 부가 유틸리티(후드, 배기장치)가 요구됩니다
이는 Os가 유독성이 강한 물질이기 때문이죠
그럼에도 불구하고 10만배 이상에서 Morphology 관찰하고자 할때는 확실히 유리하니 이점 참고하십시오 -
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정연학님의 답변
2019-11-17- 1
부도체의 경우 전자가 빠져나가지 못해 charging 현상이 일어나는데 specimen charge-up을 방지하기 위해 1)낮은 탐침전류 2)저 가속 전압을 사용한다
전기적으로 부도체인 시편에 대해서는 시편에 전도성을 부여하기 위해 금속코팅을 한다.
이것은 시편의 이차전자의 산출을 증대 시킨다. 탄소, 금, 팔라듐으로 코팅함
생체재료인 경우 10만배 이상 고배율에서 백금, 금 코팅의 경우 입자에 의해 미세표면 관찰에 바해가 되어 osimium 코팅을 하기도 한다. -
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김아영님의 답변
2019-12-10- 1
아무래도 코팅후에 문제가 적기 때문이 아닐까요? 오염 문제도 있구요. -
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안강우님의 답변
2019-12-10- 1
실버는 쉽게 산화가 되버려서 기껏 코팅해놓고 산화된 실버의 표면 때문에 원하는 형태가 안나올수도 있습니다.
그에 비해서 Pt나 Au는 산화가 거의 안되니 전도용으로 코팅하기 좋죠.