2022-09-21
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김형수(suripae)
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Journal of Vacuum Science & Technology A 39, 032410 (2021)
Surface reaction of the hafnium precursor with a linked amido-cyclopentadienyl ligand: A density functional theory study
Romel Hidayat, Hye-Lee Kim, Hohoon Kim, Younghun Byun, Jongsoo Lee, and Won-Jun Lee
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김연진님의 답변
2022-10-07- 0
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