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Thermal Evaporator 장비 사용하고 있는데 장비 온도만 올라가고, metal source가 잘 녹지 않습니다. 어떤 문제가 있는 걸까요?
현재 Ti metal을 증착중에 있는데 장비온도는 8도가까이 올라가는데 전류를 160까지 높여도 Ti가 잘 녹지 않습니다.
전류 올리는 속도가 너무 느려서 그런걸까요? 이게 어떤 원인이 있으며 어떻게 control할 수가 있나요?
- 반도체공정
- Thermal Evaporator
각 분야 한인연구자와 현업 전문가분들의 답변을 기다립니다.
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답변
장성재님의 답변
2023-08-14- 1
직접 장비업체 또는 대리점에 문의하세요.
A/S 받으시는 편이 빠를 겁니다.
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답변
김병관님의 답변
2023-08-14- 1
기존에 어떻게 Ti를 증착하였는지는 잘 모르겠으나 금속 중 Ti의 녹는점이 꽤 높은 편이라 전류를 많이 가해줘야 될 수도 있습니다.
실제 보트 온도는 모르기 때문에 장비 온도가 올라간 정도로는 보트 온도가 Ti를 녹이기에 충분한지 알기 힘든 것 같습니다.
또한, 혹시나 보트를 연결할 때 컨택이 조금 문제가 되면 저항이 커지기 때문에 온도가 전류가 가해져도 온도가 충분히 올라가지 못 할 수도 있을 것 같습니다.
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답변
김주남님의 답변
2023-08-25- 0
질문 상황을 보니 아직 장비에 대한 이해가 충분치 못한거 같아 보입니다. 장비온도 8도가 무엇을 의미하는지.. 전류가 160이라는것이 mA, A? 어느 쪽인지....
단, 증착장비에서 메탈 소스가 잘 녹지 않는다는 것은 여러가지 가능성이 있습니다.
먼저 Boat가 텅스텐인가요? 아님 카본인가요?
텅스텐이면 그냥 온도가 충분히 올라가지 않아서 입니다. 올라가지 않는 원인은 반복되는 열스트레스에의해 boad가 열화했기 때문입니다. 새 보트로 해보세요.
카본의 경우 티타늄 표면이 고온에서 카본과 결합하여 TiC을 형성할 경우 그것을 완전히 날리기 위해 좀 더 높은 온도를 요구하기도 합니다.
결론적으로
1. 보트를 교환해보세요.
2. 장비의 허용 전류값냉에서 더 올려보세요.
도움이 되셨길 바래요
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답변
조윤환님의 답변
2023-09-11- 0
지시 온도값과 실제 온도값이 다를 수도 있겠습니다.
기계적인 오류 가능성도 배제하지 마시고 확인하시기 바랍니다.