사업단 소개
본 사업단은 서울시 산학연 협력사업에 의해 우리나라 성장동력 산업분야의 핵심기술로 자리 잡고 있는 나노산업 중 나노공정 및 장비기술을 개발하는 것을 목표로 설립되었습니다. 국민대 주관으로 서울산업대 및 NIT 테크노폴리스, 경희대, 광운대, 한국과학재단 지정 자기조립소재공정 우수연구센터 등 서울 동북부지역 나노 연구 선두 그룹 및 나노분야 선도 업체들이 본 사업단에 참여하고 있습니다. 세부 연구 분야로는 국가 전략산업인 차세대 디스플레이와 반도체 공정에 활용할 수 있는 나노임프린팅, 리소그래피, 신나노패터닝, 마이크로패키징 공정 등 나노신공정기술을 개발하고, 나노공정에 필요한 셈리소그래피(SEM lithography) 및 초정밀 스테이지 등 핵심장비를 개발하기 위한 기반기술을 연구하며, 또한 연구 개발된 나노기술을 산업체에 기술 이전하여 상품화 및 사업화를 하는 산학연 혁신 클러스터입니다.
연구목표
우리나라 성장 동력 산업분야의 핵심기술로 자리 잡고 있는 나노 산업 중 나노 공정 및 장비기술을 개발하는 것을 목표로 한다. 그 중 나노 임프린트 리소그래피 공정상의 비용 절감과 양산성을 높이기 위한 공정 장비의 새로운 메커니즘 도입과 국내 나노 임프린트 리소그래피를 이용한 나노공정장비 기반기술개발 및 장비를 설계하는 것을 목표로 한다. 최종적으로는 신 소자 개발을 위한 신 나노공정 기술 및 제품 생산 공정에 필요한 첨단 장비의 연구 개발과 더불어 개발된 기술을 관련 기업으로 이전하여 사업화 하고, 창업 보육 등을 통하여 신규 산업을 창출할 수 있도록 하며, 이를 위해 기업과 본 나노공정장비기술사업단이 네트워크 하에서 유기적으로 연계하여 국가 및 서울시의 산업 경쟁력을 제고시키도록 하는 것이 목표이다.
설립배경 나노기술(NT: Nano technology)은 물질을 원자 또는 분자단위 수준에서 분석 및 조작하는 기술로서 신물질 창출 및 신기술 개발을 가능하게 하기 때문에 21세기 신 산업혁명을 주도할 핵심기술로 인식되고 있다. 이러한 나노기술은 국가경제의 지속적인 발전 및 성장을 위한 전략기술과 미래의 신산업 창출을 위한 원천기술로 인식되고 있기 때문에 미국, 일본, 독일 등 선진국을 중심으로 치열한 기술경쟁을 벌이고 있다. 우리나라도 나노기술종합발전계획의 수립에 따라 나노기술연구개발의 기본방향을 설정하여 나노기술 선진국 수준의 기술경쟁력 확보를 위해 많은 노력을 하고 있으나 아직 우리나라의 나노기술은 전반적으로 선진국과 많은 격차를 보이고 있다. 그러나 나노기술은 전 세계적으로 개발 초기단계에 있고 또한 학제간 연구영역에 속하는 태동기술로서 우리나라가 갖고 있는 세계수준의 반도체 생산기술력과 소재분야의 우수연구 인프라를 잘 활용할 수 있는 산학연 클러스터를 구축한다면 선진국과의 경쟁이 가능한 분야이다. 본 나노공정장비기술사업단에서는 국가산업의 대동맥을 열어주는 나노기술 중 디스플레이용 나노 신공정 기술과 이에 필요한 첨단장비의 핵심기술을 연구개발하며, 개발된 기술을 관련 기업으로 이전하여 사업화하고 창업보육 등을 통하여 신규산업을 창출할 수 있는 나노공정장비기술 혁신클러스터를 구축한다.
사업단 조직도
사업 추진 체계
연구분야 ▣ 디스플레이용 나노 신공정 개발 (참여기관 : 경희대학교, 한양대학교, 서울시립대학교) 디스플레이용 나노 소재 및 소자 제작공정 개발 청색 형광체 합성기술 개발 탄소나노튜브 합성공정 개발
▣ 나노임프린트용 장비요소기술 개발 (참여기관 : 국민대학교) 접촉식 스테이지 정렬기술 개발 나노임프린트 장비의 요소 소재기술 개발 스테이지 기구부 진동저감 설계
▣ 차세대 마이크로-나노시스템 패키징 기술 개발 (참여기관 : 광운대학교) SOP 기반기술 개발 Micro-Nano Assembly 및 Stacking 기술개발 Packaging 검사 및 신뢰성 평가 기술개발
▣ SEM 겸용 나노리소그래피 장비개발 (참여기관 : 서울산업대학교, 고려대학교, 세종대학교) SEM 요소기술개발 SEM 겸용 나노리소그래피 개발 SEM 특성 모델링
▣ 나노임프린트 공정구축 (참여기관 : 국민대학교, 서울대학교) ALD 및 층상 성장기술을 이용한 막소재 제조 및 특성 평가 소프트 리소그래피를 이용한 대면적 나노패터닝 기술개발 대면적 공정의 최적화
▣ 혁신클러스터 기반구축 (참여기관 : 국민대학교, KISTI, (주)기술과가치) 혁신 클러스터 기반 구축 기술사업화 교육 기술발굴 및 평가 기술마케팅 기술지원 경영지원 기업평가 및 컨설팅
사업단 실적 특허“백색발광 특성을 갖는 플러렌 다량체 및 그 제조방법”등 27건 사업화/기술료 실적“전자현미경(SEM) 경통 및 제어기 개발”등 4건 국내외 학술지 논문게재 88건 국내외 학술대회 발표 258건 국제학술회의 개최 성과 3건 수상실적“스위스 IEC 수상”등 8건
사업단 주요행사
문의: 국민대학교 나노공정장비기술사업단 전화번호: 02-910-5037 홈페이지: http://cnfe.kookmin.ac.kr 이메일: nano@kookmin.ac.kr 주소: 서울 성북구 정릉동 861-1
