분야
기계
발행일
2007/03/31
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-목 차-
연구보고
표준기술을 활용한 다른메이커· 다른기종 ·다른세대기기의 상호접속과 MES와의 정보연계환경
공집점현미경·라먼분광복합장치의 개발과 미소영역의 응력˙결정성 평가
[연 구]
공집점현미경·라먼분광복합장치의 개발과 미소영역의 응력·결정성평가
1. 처음에
1.1 미소기계부품 평가
1.2 고품질 가공표면층 평가
2. 실험
2.1 라먼산란에 대해
2.2 라먼산란분광법에 의한 응력측정
2.3 라먼산란에 의한 결정성의 평가
2.3.1 아포머스체의 라먼산란
2.3.2 다결정의 라먼산란
2.4 공집점현미경·라먼분광복합장치
2.5 공간분해능
2.6 시료가열
2.7 측정환경의 온도변화에 의한 영향
2.8 파장가변광학계
3. 미소기계부품의 평가
3.1 압력센서
3.2 원자력간현미경의 프로브의 평가
4. 고품질가공면 평가
4.1 절삭가공면의 평가
4.2 광가공면의 평가
4.2.1 실리콘단결정표면의 나노주기구조
4.2.2 SiC 단결정표면의 나노주기구조
4.3 연삭가공면
4.4 압흔측정
5. 정리
5.1 미소기계부품 평가
5.2 고품질가공면 평가
6. 감사
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