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KEIT 이슈리뷰 2023-1~2월호 연구개발 주요성과 및 2023년도 추진계획 21 반도체공정장비

2023-03-31 org.kosen.entty.User@4ed6093d 코센2022(kosen2022)

분야

기계,전기/전자

발행기관

한국산업기술평가관리원

발행일

2023.03.09

URL

https://itech.keit.re.kr/index.do#detail|03040100|/comm/retrieveBlltDetail.do|.sub_con|searchCdtn=&searchKeyword=&pageIndex=2&blbdId=S0000010&blltSeq=94337&

첨부파일

(차세대 반도체 제조장비) 차세대 반도체용 박막 성장공정, 식각공정, 생산성 고도화를 위한 고성능 장비
및 핵심기술 개발
- Si, SiGe 단일 및 적층 에피택시 박막 성장용 공정 장비, 초저온 식각 공정용 웨이퍼 서셉터 시스템, 
고밀도 플라즈마 소스를 이용한 고생산성 Hard Mask PR Strip 장비 등


 (소재·부품·장비 기술개발) 해외 의존도 개선과 공급망 안정을 위한 반도체 공정 소재·부품 연계 R&D
- EUV 블랭크 마스크 자동결함 분석 및 리페어 시스템, 고종횡비 컨택홀 세정 및 부산물 제거용 장비, 
CIS용 300mm 웨이퍼 제조기술 개발 등

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