2023-03-31
org.kosen.entty.User@7d08b4e0
코센2022(kosen2022)
분야
기계,전기/전자
발행기관
한국산업기술평가관리원
발행일
2023.03.09
URL
(차세대 반도체 제조장비) 차세대 반도체용 박막 성장공정, 식각공정, 생산성 고도화를 위한 고성능 장비
및 핵심기술 개발
- Si, SiGe 단일 및 적층 에피택시 박막 성장용 공정 장비, 초저온 식각 공정용 웨이퍼 서셉터 시스템,
고밀도 플라즈마 소스를 이용한 고생산성 Hard Mask PR Strip 장비 등
(소재·부품·장비 기술개발) 해외 의존도 개선과 공급망 안정을 위한 반도체 공정 소재·부품 연계 R&D
- EUV 블랭크 마스크 자동결함 분석 및 리페어 시스템, 고종횡비 컨택홀 세정 및 부산물 제거용 장비,
CIS용 300mm 웨이퍼 제조기술 개발 등
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