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캔틸레버의 변화 측정방법

캔틸레버를 이용한 센서는 캔틸레버의 공진주파수나 응력의 변화를 측정함으로써 그 역할을 한다고 할 수 있는데 그런 캔틸레버의 변화는 어떻게 측정가능한 것인지 기술적으로 상세하게 알고 싶습니다. 광학적 검출과 피에조 저항(압전효과를 이용), 정전용량 등 이러한 큰 틀과 대충의 내용은 알지만 이러한 측정 장치를 어떻게 이용을 해서 변화를 감지하는 것인지 궁금합니다.
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답변 1
  • 답변

    김쌍조님의 답변

    >캔틸레버를 이용한 센서는 캔틸레버의 공진주파수나 응력의 변화를 측정함으로써 그 역할을 한다고 할 수 있는데 > >그런 캔틸레버의 변화는 어떻게 측정가능한 것인지 기술적으로 상세하게 알고 싶습니다. > >광학적 검출과 피에조 저항(압전효과를 이용), 정전용량 등 이러한 큰 틀과 대충의 내용은 알지만 > >이러한 측정 장치를 어떻게 이용을 해서 변화를 감지하는 것인지 궁금합니다. AFM에서의 칸틸레버 변화 측정은 표면을 측정하면서 LASER의 미세한 변화를 LOCK-IN-AMP에서 전류로 변화 시킵니다. 이 전류 값의 변화를 증폭시켜 그 SIGNAL을 화면상에 나타냅니다. 저도 오래되어 가물가물하네요. 일단은 변화폭을 전류흐름으로 변화시켜 2차적인 SIGNAL을 감지합니다.
    >캔틸레버를 이용한 센서는 캔틸레버의 공진주파수나 응력의 변화를 측정함으로써 그 역할을 한다고 할 수 있는데 > >그런 캔틸레버의 변화는 어떻게 측정가능한 것인지 기술적으로 상세하게 알고 싶습니다. > >광학적 검출과 피에조 저항(압전효과를 이용), 정전용량 등 이러한 큰 틀과 대충의 내용은 알지만 > >이러한 측정 장치를 어떻게 이용을 해서 변화를 감지하는 것인지 궁금합니다. AFM에서의 칸틸레버 변화 측정은 표면을 측정하면서 LASER의 미세한 변화를 LOCK-IN-AMP에서 전류로 변화 시킵니다. 이 전류 값의 변화를 증폭시켜 그 SIGNAL을 화면상에 나타냅니다. 저도 오래되어 가물가물하네요. 일단은 변화폭을 전류흐름으로 변화시켜 2차적인 SIGNAL을 감지합니다.
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