2008-11-14
org.kosen.entty.User@3b7bd45a
김민철(jjang2580x)
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Al2O3를 Cl2 를 이용하여 건식식각하려고 하는데
일반적으로 얼마의 파워에서 어느정도의 에칭 rate를 가지는지 알고 싶습니다.
혹시 실험해 보신분들이 계시면 정보 부탁드립니다.
감사합니다.
- Al2O3
- 에칭
- 건식식각
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각 분야 한인연구자와 현업 전문가분들의 답변을 기다립니다.
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답변 1
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답변
안길홍님의 답변
2010-02-05- 0
>Al2O3를 Cl2 를 이용하여 건식식각하려고 하는데 > >일반적으로 얼마의 파워에서 어느정도의 에칭 rate를 가지는지 알고 싶습니다. > >혹시 실험해 보신분들이 계시면 정보 부탁드립니다. > >감사합니다. 첨부자료