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지식나눔

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Photoresist에서 trim에 대해 알고싶습니다.

2018-06-03 org.kosen.entty.User@1d4619d0 김성수(zero1521)
  • 1
trim에 대해 알고싶은데 자료가 한정적이어서요
반도체쪽에 대해 아시는 분들 부탁드립니다.
  • trim
지식의 출발은 질문, 모든 지식의 완성은 답변! 
각 분야 한인연구자와 현업 전문가분들의 답변을 기다립니다.
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답변 1
  • 답변

    김종수님의 답변

    2019-03-31
    • 0
    http://www.clarycon.com/resisttrim(2).html
    위 설명 참고 바랍니다.
    간단히 설명해서 리쏘그래피 한계를 극복하기 위해 PR 코팅 후 에치로 PR을 식각하여 더 얅은 마스크를 만들어내는 방법입니다.
    답변수정
    http://www.clarycon.com/resisttrim(2).html
    위 설명 참고 바랍니다.
    간단히 설명해서 리쏘그래피 한계를 극복하기 위해 PR 코팅 후 에치로 PR을 식각하여 더 얅은 마스크를 만들어내는 방법입니다.
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