2023-01-31
org.kosen.entty.User@6e4deb42
코센2022(kosen2022)
분야
기계,정보/통신
발행기관
정보통신기획평가원
발행일
2022.11.16
URL
기존 마이크로디스플레이 및 반도체 검사 장비의 단점을 극복하고 대면적과 고해상도를 동시에 만족하며 시료를 파괴하지 않고도 마이크로 레벨의 패턴과 불량 검출을 검사할 수 있는 기술이 필요하다.
반사형 FPM(Fourier ptychographic microscopy) 광학계를 이용하여 취득된 촬영 영상으로부터 시료의 3차원 형상 복원을 물리 기반이 아닌 데이터 기반으로 수행하는 기술을 통해 광학적 한계를 뛰어넘는 정확도와 관측 면적을 확보하고, 시료의 손상 없이 미세패턴 및 불량 검사가 가능하다.
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