2023-06-22
org.kosen.entty.User@219b8734
장효원(dkeldhtm159)
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HMDS의 화학 결합은 일반적인 300nm 파장대의 세기로는 안 끊어지나요?
- 반도체
- 표면개질
- HMDS
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각 분야 한인연구자와 현업 전문가분들의 답변을 기다립니다.
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답변 1
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답변
김주남님의 답변
2023-09-14- 0
반드시 그렇지 만도 않아요. 논문 참고해보셔요.
Photochemical Reaction of Ozone and 1,1,1,3,3,3-Hexamethyldisilazane: Analysis of the Gas Reaction between Precursors in a Photochemical Vapor Deposition Process