2023-06-22
org.kosen.entty.User@76d3611e
장효원(dkeldhtm159)
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표면 개질을 위해 excimer lamp 사용시에 N2 분위기에서 꼭 진행해야하나요?
- #HDMS #표면개질 #excimer
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각 분야 한인연구자와 현업 전문가분들의 답변을 기다립니다.
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답변 2
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답변
장세호님의 답변
2023-06-22- 1
https://en.wikipedia.org/wiki/Excimer#Generation_techniques 의 generation techniques 부분에 비활성 기체가 필요하다고 나오네요.
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답변
김주남님의 답변
2023-08-25- 0
excimer lamp는 강한 에너지를 가진 UV를 발생시키므로 산소가 포함되어 있을 경우 산화력이 강한 오존등이 발생합니다. 따라서 아르곤이나 질소와 같은 비활성기체 분위기에서 꼭 진행하셔야합니다.