KOSEN 한인과학기술자네트워크

닫기

더 많은 혜택을 위해
로그인 하세요.

동향

동향

리포트

리포트는 KOSEN 회원님들이 작성하는 최신연구동향 보고서입니다.
국내외 연구기관에서 발간하는 최신 동향보고서를 제공합니다.

자료 유형

키워드 검색

전체 46913

글쓰기
전체 46913
글쓰기

ELECTRON-BEAM PROJECTION TECHNIQUE을 이용한 NANO-PATTERNING 기술 동향 스크랩

  • 서울대학교 신소재 공동 연구소
  • |
  • 전기/전자

이 전자자료는 보안 문서로 등록이 되어 있습니다. 문서를 열람하시기 원하시는 분은 다음의 사용자 암호를 입력하신 후 사용하시기 바랍니다. 사용자 암호 : www.kosen21.org ※ 동향조사의 목적 및 필요성 지난 40여년간의 반도체 집적 공정의 발전에 있어서 광학 리소그래피(optical lithography) 기술은 꾸준히 발전하여 왔으며, 소자의 선폭이 0.1 μm이하의 공정에서 역시, 소자 제조의 핵심기술은 리소그래피 기술을 이용한 회로의 패터닝(patterning) 기술에 달려있다고 해도 과언이 아니다. 그러나, 현재 사용되고 있는 광학 리소그래피는 사용하는 파장의 길이에 따른 분해능(resolution)의 한계로 인하여, 나노 스케일의 소자를 제작하기 위해서는 새로운 리소그래피 기술이 필요하다는 것이 일반적으로 인정이 되고 있다. 이러한 새로운 리소그래피 (이것을 통칭하여 New Generation Lithography(NGL)라고 명명되고 있다.) 기술로 제시되고 있는 것중의 하나가 전자빔 프로젝션(electron beam projection)을 이용한 리소그래피 기술이다. 이 기술은 조사 시스템(illumination system)의 소스(source)로서 전자빔을 사용하여 분해능의 한계를 극복하고, 아울러 프로젝션 테크닉을 사용함으로써, 종래의 전자빔 리소그래피(electron-beam lithography)의 단점인 생산성의 문제를 해결할 수 있는 기술로, 다가오는 나노 스케일의 소자를 제작하기 위한 중요한 기술로 인정을 받고 있다. 따라서, 국내에서도 나노 기술을 이용한 소자의 제작을 위해서는 전자빔을 이용한 패터닝 기술의 확보가 대단히 중요할 것이다. 따라서 본 동향조사에서는 나노 스케일의 패터닝이 가능한 전자빔 프로젝션 리소그래피 기술에 대한 수요 조사 및 동향 조사를 통해 나 패터닝 분야에서 우리가 나가야할 방향을 설정하고자 한다. ※ 동향조사의 내용 및 범위 현재 연구 되고 있는 전자빔 프로젝션 리소그래피 기술로는 1980년대 후반부터 미국의 Bell laboratories(Lucent Technology)의 전자빔을 이용한 프로젝션 패터닝 기술을 상용화시키기 위한 SCALPEL(Scattering with angular limitation projection electron-beam lithography) 프로젝트를 시작하였으며. 이 프로젝트에는 미국의 Applied Materials, ASML이 같이 참여하여 상용화시키기 위한 연구가 활발하게 진행 중이다. 또한 1990년대 초반에는 미국의 IBM에서도 일본의 Nikon과 함께 전자빔 프로젝션을 이용한 리소그래피 장비를 개발하기 위한 연구를 시작하였다 (PREVAIL system). 아울러, 1990년대 후반에는 일본의 동경정밀의 자회사인 Nanolith.라는 회사에서는 LEEPL이라는 저 에너지의 전자빔을 사용하는 리소그래피 장비에 대한 연구를 하였다. 여기에는 일본의 NTT와 ASET(Association of Super-Advanced Electronics Technologies)가 같이 참여하여 이 장비의 상용화에 대한 연구를 돕고 있다. 본 연구에서는 이와 아울러 국내의 전자빔을 이용한 기술 개발의 활성화를 위하여 구 소련 연방에서 전자 광학(electron optics)의 정밀 기술을 이용하여 전자빔 활용 기술을 확립하여 온 우크라이나의 SELMI의 기술에 대한 정보를 수집할 것이다.

2002-06-12

Chemical Genomics 기술 동향 조사 스크랩

  • 한국생명공학연구원
  • |
  • 생명과학

이 전자자료는 보안 문서로 등록이 되어 있습니다. 문서를 열람하시기 원하시는 분은 다음의 사용자 암호를 입력하신 후 사용하시기 바랍니다. 사용자 암호 : www.kosen21.org 1, 조사의 필요성 - 지금 세계는 21세기를 유전체 기능 연구의 시대로 정의하며, 이를 위해서 많은 방법론들이 제시되고 있음 (proteomics, structural genomics, chemical genomics, pharmacogenomics, 등). - 유전체 및 단백체의 기능을 조절하기 위해서는 이들의 산물인 단백질의 기능 조절이 필수 적이며 이를 조절하는 것은 저분자 유기화합물인 리간드 (ligand)라는 것을 명심하여야 함. - 선진국에서 본격적으로 많은 연구비를 투입하는 proteomics, bioinformatics, structural genomics 등과의 차별성 있는 방법론이 필요. - 하나의 대안이 저분자 유기화합물을 이용하여 유전자 및 단백질의 기능을 조절한 후 이들의 기능을 확인하는 과정으로 유전체 및 단백체의 총괄적인 기능을 분석하고자 하는 새로운 개념의 post-genome 연구개발 사업, 즉, chemical genomics/proteomics라 생각됨. - 미국의 대학 (Harvard, Yale 등), 국가연구기관 (NIH), 제약회사 (Merck 등)에서 최근에 이 분야의 연구를 시작하였으며, 이를 바탕으로 신약개발의 표적 분자 및 선도물질을 탐색하고 더 나아가서 유전체 기능을 규명하는 연구를 수행하고 있음. - 다제학제간 연구분야이며, 이를 위해서 미국을 중심으로 학제간 통합 등의 움직임이 있음. - 새롭게 대두되는 연구분야에 대한 연구방향 및 전망 등의 조사는 국가 연구개발의 정책 결정 등에 활용가치가 높다고 생각됨. 2. 조사내용 및 범위 - 조사 방법은 internet 등을 활용한 방법과 미국의 주요 연구기관을 방문하는 방법을 이용함. - 조사범위는 연구 분야를 설정하고 각 분야별 연구동향을 조사함. - 조사대상 국가는 이 분야의 연구가 가장 활발한 미국을 중심으로 조사함.

2002-06-12

The Internet?s Impact on Global Supply Chains 스크랩

  • Department of Industry, Tourism and Resources
  • |
  • 정보/통신

The internet is expected to have a major impact on global supply chains. The implications are significant for strategies to develop firm and national competitiveness. This report is based on extensive consultations during 2001 with e-commerce and supply chain leaders in industry. It aims to provide an assessment of changes already experienced by firms operating in Australia and globally, future directions planned by industry, and impediments to change and concerns of industry that government might address. The Reserve Bank of Australia has estimated about a third of Australia's recent impressive productivity growth has been generated through the use of Information and Communication Technologies (ICT). We consider internet technologies and their application in e-commerce will be a major driver of ICT generated productivity growth, especially through improving the efficiencies of interactions between firms ?the supply chain relationship. This is supported by research and analysis published in the Cisco/Allen report and the National Office for the Information Economy's (NOIE) E-commerce Beyond 2000 report . It is a challenging time for firms engaging in e- commerce. Expectations have so far exceeded the capacity of technology to deliver. E-commerce is more than a technology issue, it needs to be integrated into business strategy. In firms, Chief Information Officers (CIOs) need to work with business planners and their Chief Executive Officers (CEOs). In government, business and information technology agencies need to work together. Australian firms have plans for developing internet-driven supply chains in many sectors, and the success of these will be critical to Australian productivity growth and competitiveness. Appendices to this report cover developments in the following of industries: automotive, building and construction, business and professional services, chemicals and plastics, heavy engineering, minerals, sport, tourism and transport and logistics.

2002-06-11

첨단 EUV(Extreme Ultra Violet) 리소그라피 기술 개발 현황 스크랩

  • 한국전자통신연구원
  • |
  • 전기/전자

이 자료는 보안 문서로 등록이 되어 있습니다. 문서를 열람하시기 원하시는 분은 다음의 사용자 암호를 입력하신 후 사용하시기 바랍니다. 사용자 암호 : www.kosen21.org ○ 동향조사의 목적 및 필요성 차세대 초미세 반도체소자 제작에 필요한 주요핵심 공정 기술인 EUV리소크라피 기술의 개발 현황을 조사 분석하여, 본 기술 개발 분야에서 연구 기술 개발의 방향 및 내용을 설정하는데 이용하고자 한다. 오늘날 반도체소자 제작 공정에서 수 nm의 분해능을 구현하기 위하여 가우시안 전자빔 리소그라피, 이온빔 리소그라피, SPM 리소그라피 기술과 X-ray 리소그라피 기술을 연구하고 있으나, 이 기술은 아직 대량생산성 문제의 해결이 요원하거나, 학문적이고 초보적인 실험실 수준의 기술이며, 5년에서 10년을 내다보는 리소그라피 기술로는 EUV 리소그라피와 전자빔 투영 리소그라피 기술을 선택하여 많은 연구를 진행하여왔다. 그 중에서도, 특히, EUV 리소그라피 기술은 지난 4~5년의 개발동향을 살펴 볼 때 많은 진전이 이루어져 왔으며, 실제로 자세대의 리소그라피 기술로 채택되어 실제로 반도체 소자 제작 공정에 투입될 것이 확실하다. 따라서, 본 기술 개발의 방향 및 내용을 설정하는데, 본 기술과 타기술의 비교 분석 그리고 개발 현황 등을 조사하는 것이 필요하다. ○ 동향조사 결과 45차 International conference on Electron, Ion and Photon Beam Technology and Nanofabrication 학회, 5차 Next Generation Lithography workshop, 그리고, 3차 workshop on EUV Lithography에서 발표된 기술 내용을 본문에서 정리하였다. 또한, 국내외 전문가들로부터 수집한 EUVL 기술 동향도 정리하여 보고한다. 선폭 50 nm 이하 35 nm 까지의 리소그라피 기술로 EUVL 기술의 연구 개발은 각 요소 기술에서 어려운 난제들을 많이 해결하고, 그 첫 번째의 ETS(Engineering Test stand)가 미국 산디아 국립연구소에 설치되어 가동되고 있다. 이 개발 연구에 참여하고 있는 연구자들은 EUVL stepper/scanner의 베타 시스템을 2004 년까지 개발 완료하고, 2006 년경에 생산 라인에 투입할 수 있는 시제품 장비의 개발을 완료할 수 있을 것이라고 예측하고 있다. 물론, 이 시제품 시스템의 구현을 위하여, EUV 광원 마스크 기판(mask blank) 기술, EUV 반사경 세척과 같은 환경적 문제, 최소 선폭 조절과 정밀 측정 문제, 안정된 시스템의 운영을 위한 제반 문제, 그리고 다량 생산성과 시스템 구입 비용(Cost of Ownership)과 같은 기술적 혹은 경제적 문제들이 남아 있으나, 근본적인 장애는 없을 것으로 생각하고 이를 해결하기 위한 연구 개발 투자가 꾸준히 이루어지고 있다.

2002-06-11

Export Controls/Space Shuttle Safety 스크랩

  • 과학기술과 인문사회

I. Export Controls Clarification of Jurisdiction for Missile Technology Items Needed(October, 2001) The U.S. government has long been concerned about the growing threat posed by the proliferation of missiles and related technologies that can deliver weapons of mass destruction. The United States is working with other countries through the Missile Technology Control Regime to control the export of missile-related items. The Departments of Commerce and State share primary responsibility for controlling exports of Regime items. The Commerce Department is required to control Regime items that are dual-use on its export control list--the Commerce Control List. All other Regime items are to be controlled by the State Department on its export control list--the U.S. Munitions List. However, the two departments have not clearly established which of them has jurisdiction for almost 25 percent of the items the United States agreed to control. The Departments disagree on how to determine which Regime items are controlled by Commerce and which are controlled by State. Consultations between the departments about respective control lists have not resolved these jurisdiction issues. Unclear jurisdiction may result in the same Regime item being subject to different export control restrictions and processes at the two departments. 바로가기 II. Space Shuttle Safety Update on NASA's Progress in Revitalizing the SHuttle Workforce and Making Safety Upgrades(Septemberber 6, 2001) 바로가기 ※ '바로가기'를 누르시면 원문을 보실 수 있습니다.

2002-06-11

Information Technology Management/Telecommunications/Computer Security 스크랩

  • 전기/전자

I. Information Technology Management : Social Security Administration Tractices Can be Improved(August 2001) 바로가기 II. Telecommunications: Characteristics and Competitiveness of the Internet Backbone Market(October, 2001) 바로가기 III. Computer Security: Improvements Needed to Reduce Risk to Critical Federal Operations and Assets(November 9, 2001) 바로가기 ※ 정보통신 기술관련 보고서 '바로가기'를 누르시면 바로 원문을 보실 수 있습니다.

2002-06-11

Nuclear Nonproliferation 스크랩

Nuclear Nonproliferation: Coordination if U.S. Programs Designed to Reduce the Threat Posed by Weapons of Mass Destruction(November 14, 2001) This testimony discusses GAO's recent work on U.S. nonproliferation programs and comments on S. 673--a bill to establish an interagency committee to review and coordinate such programs. GAO found that the U.S. programs have achieved some success, but more needs to be done to keep nuclear weapons, materials, and technologies out of the hands of terrorists and countries of concern. Furthermore, questions exist about how to sustain the security improvements being made. The Department of Energy (DOE) and the Department of State programs to employ weapons scientists face difficulty in conclusively demonstrating that they are preventing the spread of weapons-related knowledge and expertise. With respect to S. 673, there is some debate among officials about the need for more coordination of U.S. nonproliferation programs. On the basis of the findings of two independent commissions that recently examined these programs, GAO believes that more coordination would be helpful and that the legislation could serve as a vehicle to share information and best practices for addressing problems GAO identified. S. 673 could be strengthened by mandating development of an overarching strategic plan that clearly identifies overall goals, time frames for meeting those goals, and ways to set priorities for allocating resources to address U.S. nonproliferation concerns. 바로가기 ※ 핵비확산 관련 보고서 '바로가기'를 누르시면 바로 보실 수 있습니다.

2002-06-11

U.S. Nuclear Regulatory Commission : News Releases 스크랩

이 자료는 보안 문서로 등록이 되어 있습니다. 문서를 열람하시기 원하시는 분은 다음의 사용자 암호를 입력하신 후 사용하시기 바랍니다. 사용자 암호 : www.kosen21.org ◆ U.S. Nuclear Regulatory Commission : News Releases(Vol.21, No.38)-2001/09/21 ◆ U.S. Nuclear Regulatory Commission : News Releases(Vol.21, No.45)-2001/11/09 ◆ U.S. Nuclear Regulatory Commission : News Releases(Vol.21, No.46)-2001/11/16 ◆ U.S. Nuclear Regulatory Commission : News Releases(Vol.21, No.47)-2001/11/23 ◆ U.S. Nuclear Regulatory Commission : News Releases(Vol.21, No.48)-2001/11/30 (미원자력 규제위원회 관련자료 입니다.)

2002-06-11

Chemical and Biological Defense/Bioterrorism 스크랩

I. Chemical and Biological Defense : Improved Risk Assessment and Inventory Management Are Needed(September 2001) - Results in Brief - Background - DOD's Assessment Process In Unreliable for Determining Risk to Military Perations - Erroneous Suit Inventory and Requirements Data Compromise DOD's Risk Analysis - Inadequate Inventory Management Is an Additional Risk Factor Conclusion - Recommendations - Agency Comments and Our Evaluation - Scope and Methodology 바로가기 II. BIOTERRORISM: The Centers for Disease Control and Prevention's Role in Public Health Protection(November 15, 2001) Federal research and preparedness activities related to bioterrorism center on detection; the development of vaccines, antibiotics, and antivirals; and the development of performance standards for emergency response equipment. Preparedness activities include (1) increasing federal, state, and local response capabilities; (2) developing response teams; (3) increasing the availability of medical treatments; (4) participating in and sponsoring exercises; (5) aiding victims; and (6) providing support at special events, such as presidential inaugurations and Olympic games. To coordinate their efforts to combat terrorism, federal agencies are developing interagency response plans, participating in various interagency work groups, and entering into formal agreements with other agencies to share resources and capabilities. However, coordination of federal terrorism research, preparedness, and response programs is fragmented, raising concerns about the ability of states and localities to respond to a bioterrorist attack. These concerns include insufficient state and local planning and a lack of hospital participation in training on terrorism and emergency response planning. This testimony summarizes a September 2001 report (GAO-01-915). 바로가기 ※ 생화학 테러 관련 보고서 '바로가기'를 누르시면 바로 보실 수 있습니다.

2002-06-11

Small Fuel Cells for Portable Power Applications 2002 스크랩

  • 이성호 이성호
  • |
  • 한국생산기술연구원
  • |
  • 지구과학(지구/대기/해양/천문)

이 자료는 보안 문서로 등록이 되어 있습니다. 문서를 열람하시기 원하시는 분은 다음의 사용자 암호를 입력하신 후 사용하시기 바랍니다. 사용자 암호 : www.kosen21.org ※ 회의개요 ‘Small Fuel Cells for Portable Power Applications 2002’는 매년 개최되는 소형 연료전지 관련 중요 학회로서 이번이 4번째이며, 벤처 투자 예측가들과 소형 연료전지 연구 개발의 최일선에 있는 전문가들을 초청, 발표하여 이루어졌다. 이번 학회에서는 2차 전지를 대체할 차세대 에너지원인 소형 연료전지에 대한 개발 열기를 느낄 수 있었다. 한국, 미국, 일본, 유럽의 대기업 및 벤처 기업, 국가 연구소, 대학 등에서 많이 참석하였으며, 등록자는 약 240명 정도였다. 학회는 Pre-Conference Workshop, Main Conference Workshop으로 나뉘어졌으며, Pre-Conference Workshop에서는 벤처 투자 예측가 등이 소형 연료전지에의 투자 필요성을 설명했고, Main Conference Workshop에서는 소형 연료전지 개발 전문가들에 의한 직접 메탄올 연료전지, 고체 고분자 연료전지, 바이오 연료전지 및 촉매 재료, 멤브레인, 연료 개질기 등 소형 연료전지 관련 기술이 발표되었다. ※ 이 학회의 보고서는 일본 산업기술종합연구소(AIST)의 이성호님께서 수고해 주셨습니다. 궁금하신 점은 이성호님께 문의하시기 바랍니다. e-mail : Sungho-lee@aist.go.jp

2002-06-10